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爱发科NRL罗茨干泵NRL60A干式真空泵

产品标签  | NRL60A干式真空泵现货 NRL60A干式真空泵价格 NRL60A干式真空泵厂家

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爱发科NRL罗茨干泵NRL60A干式真空泵

●NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。●低噪音、低振动●优良的耐腐蚀性标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。

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    详细信息
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    品牌：ULVAC型号：NRL60A材质：铸铝
    驱动方式：电动用途：活性气体（CVD、刻蚀等） ◆ 排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等） ◆ 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等） ◆ 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵） ◆ 冷冻干燥等水蒸气排气原理：真空泵
    功率：2.2（2）kw极限压力：5pa外形尺寸：1061
    规格：NRL60A

    爱发科NRL罗茨干泵NRL60A干式真空泵详细介绍


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